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日本進口USHIO牛尾MIKASA光刻機M-2LF ●機械手平臺可移動±50 mm，便于對齊 ●在可移動的部件上設置傳感器，防止誤操作 ●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較 ●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規格制造 ●適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附
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日本進口USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-60F ●機械手平臺可移動±50 mm，便于對齊 ●在可移動的部件上設置傳感器，防止誤操作 ●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較 ●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規格制造 ●適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附
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日本進口USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-20 ●機械手平臺可移動±50 mm，便于對齊 ●在可移動的部件上設置傳感器，防止誤操作 ●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較 ●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規格制造 ●適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附
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日本進口USHIO牛尾MIKASA光刻機MA-10B ●機械手平臺可移動±50 mm，便于對齊 ●在可移動的部件上設置傳感器，防止誤操作 ●更輕量化的設計 ※與本公司的MA-10比較 ●防止面罩掉落的抽板※根據面罩玻璃規格制造 ●適配不規則尺寸的基板*根據基板樣式真空吸附
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